用途：
LZ-Ⅱ離子濺射儀是種小型鍍膜裝置，可用作掃描電鏡、電子探針等儀器進(jìn)行試樣制備，是開展教學(xué)科研實(shí)驗(yàn)的必備儀器。
鍍膜原理與結(jié)構(gòu)：
LZ-Ⅱ離子濺射儀鍍膜基本原理是基于荷能正離子轟擊靶電產(chǎn)生濺射現(xiàn)象，靶被濺射出來(lái)的中性原子沉淀于基臺(tái)上樣表面成膜，形成導(dǎo)電層。
該離子濺射儀為二結(jié)構(gòu)，以基臺(tái)和樣架為正電與儀器外殼相連并接地，濺射靶電為負(fù)電（加負(fù)高壓），它們被安裝在玻璃罩的空腔內(nèi)，當(dāng)腔內(nèi)達(dá)到定空度，在負(fù)高壓的作用下發(fā)生輝光放電產(chǎn)生等離子體，其中正離子在電場(chǎng)加速下，獲得足夠能量轟擊負(fù)電上的靶面，靶面被濺射原子沉淀于基臺(tái)的樣表面形成導(dǎo)電膜，以供上述儀器分析。
技術(shù)參數(shù)：
1、型號(hào)：
1、空腔：￠150×12 硼酸硅質(zhì)玻璃
2、濺射靶尺寸：￠55×0.3
3、基臺(tái)： ￠50 6-8個(gè)樣
4、間距調(diào)節(jié)范圍20-40mm
5、濺射電壓： -2000V-0 DC連續(xù)可調(diào)
濺射電流0-30 mA
6、定時(shí)器：0-99分?jǐn)?shù)字顯示
7、空測(cè)量：1×105-1.0×10-1pa 數(shù)字顯示，單片機(jī)控制，數(shù)字顯示，具有空保護(hù)鎖設(shè)置。
8、控制系統(tǒng)：?jiǎn)纹瑱C(jī)控制，完成空自動(dòng)測(cè)量、顯示、定時(shí)器倒計(jì)時(shí)功能以及自動(dòng)完成鍍膜程序。
9、空泵：2L/S二旋片式直聯(lián)機(jī)械泵，限空度6×10-1pa
10、充氣閥：金屬微調(diào)針型閥 保護(hù)氣體 99.9%純度氬氣（推薦）
11、外形尺寸：長(zhǎng)354mm ×高216mm ×深340mm
12、電源：AC 220V 50HZ
特點(diǎn)：
1、人性化設(shè)計(jì)，整體性好；
2、單片機(jī)控制，操作方便簡(jiǎn)潔；
3、用戶可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要自由設(shè)置濺射操作的工藝參數(shù)，使用靈活、方便；
4、儀器有空鎖保護(hù)設(shè)置，使儀器可靠性安全性好；
5、本產(chǎn)已獲得，號(hào)：201220093483.0
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